ＸＹｽﾃｰｼﾞ
【要約】
【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＳは、平坦な面を有し、相対向して設けられる第１、第２のプレート１、２と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１のＸ軸方向に移動させる第１の移動手段３と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１の前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させる第２の移動手段５と、第１の移動手段３により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第１の移動体４と、第２の移動手段５により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第２の移動体６とを備えているものである。
【公開番号】
特開２００７−４６９８０（Ｐ２００７−４６９８０Ａ）
【公開日】
平成１９年２月２２日（２００７．２．２２）
【発明者】
【氏名】大 石 勝 昭
【出願番号】
特願２００５−２３０７４９（Ｐ２００５−２３０７４９）
【出願日】
平成１７年８月９日（２００５．８．９）
【出願人】
【識別番号】０００１８３８１９
【氏名又は名称】駿河精機株式会社
【代理人】
【識別番号】１０００８８１４４
【弁理士】
【氏名又は名称】加藤 静富
【識別番号】１０００９２６８０
【弁理士】
【氏名又は名称】入江 一郎
【識別番号】１００１０８７５２
【弁理士】
【氏名又は名称】野末 寿一
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
IPC：G12B（2007年）
